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不锈钢滚轮导轨-MBE设备的超高真空应用

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不锈钢滚轮导轨系统由不锈钢V型导轨和全不锈钢滚轮轴承组成的,可适用于超高真空应用环境中;详细说明,请参考文章:真正意义上的不锈钢导轨系统

分子束外延(MBE)设备的真空室为超高真空环境。超高真空通常用于表面科学设备中:一般来说,空气中的分子会附着在暴露于空气中的固体的表面,并改变固体的表面特性;即使在10-6mba的高真空当中,3秒之内就会有一层分子附着在裸露的固体表面;然而在10-9 mbar的超高真空中,同样的过程需要几个小时才能完成,从而保证表面特性研究的正常开展。分子束外延是一种新的晶体生长技术,其方法是将半导体衬底放置在超高真空腔体中,将需要生长的单晶物质分别放在不同的喷射炉中(也在腔体内);分别加热到相应温度的各元素喷射出的分子流,能在上述衬底上生长出极薄的单晶体和几种物质交替的超晶格结构:
 
如下应用案例为法国RIBER公司(http://www.riber.com/)的分子束外延(MBE)设备:

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