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不锈钢滚轮导轨-MBE设备的高真空应用
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不锈钢滚轮导轨系统由不锈钢V型导轨和不锈钢滚轮轴承组成的,可适用于高真空应用环境中;详细说明,请参考文章:
真正意义上的不锈钢导轨系统
:
分子束外延(MBE)设备的真空室为高真空环境。高真空通常用于表面科学设备中:一般来说,空气中的分子会附着在暴露于空气中的固体的表面,并改变固体的表面特性;即使在10
-6
mba的高真空当中,3秒之内就会有一层分子附着在裸露的固体表面;然而在10
-9
mbar的超高真空中,同样的过程需要几个小时才能完成,从而保证表面特性研究的正常开展。分子束外延是一种新的晶体生长技术,其方法是将半导体衬底放置在超高真空腔体中,将需要生长的单晶物质分别放在不同的喷射炉中(也在腔体内);分别加热到相应温度的各元素喷射出的分子流,能在上述衬底上生长出极薄的单晶体和几种物质交替的超晶格结构:
如下应用案例为法国RIBER公司(
http://www.riber.com/
)的分子束外延(MBE)设备:
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