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超高真空/耐高温/耐低温滚轮直线导轨

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以前,工程师如果需要在超高真空,或者高温,低温等极端环境下实现直线运动,只能从如下两个不那么如意的方案中选择一个:
1. 自己设计整套导轨系统,由于是新的设计,需要时间去验证,这会延长设计和制造周期,并产生更多的费用。
2. 或者从市面上常见的线性导轨产品中选择,但是往往不能确保100%适合这些极端使用环境。
 
HepcoMotion针对这些应用,开发了具有如下特点的滚轮直线导轨
一:应用了高等级不锈钢原材料。
真空环境不允许任何多孔性材料的使用,比如树脂,塑料和烧结烧结材料,这些多孔性材料在真空环境中会释放出气体。不锈钢在真空环境中不会释放气体,是一种清洁和不具有腐蚀性的原材料,适合真空环境的高清洁度应用。我们选用的高等级不锈钢,在高温工作环境下也不会软化。
二:表面淬硬。
高等级不锈钢为原材料,且导轨和滚轮中的所有的运动部件的接触面,都进行了精良的表面淬硬;这样可以保证在运动的过程中不会产生疲劳剥落,防止了真空环境的被破坏。
三:滚轮特殊加工工艺
VACSS滚轮轴承侧面的紧固螺钉上加工出排气通路来,让滚轮轴承内部不存在可以残留气体的死角;这样,在抽真空的时候,所有内部的气体,都通过紧固螺钉上的排气通路被抽掉了。
 
还有一个独特的设计,是六滚轮滑台;两根导轨,在一条直线上,但是没有拼接在一起,而是在两者之间,留有比较大的缝隙;六滚轮滑台,可以在这两根导轨之间自由往返;这种设计使得往真空仓里运送零件很容易,滑台从真空仓外面的导轨,平稳过渡到真空仓内的导轨上,由于两根导轨之间有缝隙,这样就可以把真空苍的门紧紧关上,实现气密的目的。六滚轮滑台的运行原理如下面这些图所示,滚轮之间的距离稍微比导轨之间的缝隙大一些,这样的话,滑台经过缝隙的时候,始终有两组滚轮和导轨接触,保证了滑台的稳定性和顺利通过:
  

   
如果超高真空应用环境要求,我们的不锈钢滚轮导轨系统,可以完全不需要润滑而顺畅运行。VACSS真空/高温滚轮轴承使用的润滑油脂牌号为Krytox LVP,工作温度范围为-15℃-210℃;LTSS低温滚轮轴承使用的润滑油脂牌号为AeroShell Grease 22,工作温度范围为-50℃-150℃。
 
滚轮轴承的直径范围为18-54mm,单个滚轮轴承的承载能力为180-4200牛顿。
 
主要应用:半导体晶圆制造设备,航天零件加工设备,气相沉积设备,LCD液晶板生产设备,真空蒸镀系统等;超低温应用包括:冷库,冻干机等。

如果你需要在超高真空,或者高温,低温等极端环境下实现曲线运动或者直曲复合运动,可选择不锈钢规格的弧形导轨 / 环形导轨

超高真空环境应用,请参考说明:不锈钢滚轮导轨-MBE设备的超高真空应用

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